本发明提供了一种具有带负电荷抗反射层的太阳电池及其制法。具体的，本发明提供了一种太阳电池，包括N型半导体衬底；上电极，所述上电极位于所述N型半导体衬底的正表面上；感应层，所述感应层包括带固定负电荷的抗反射层，所述抗反射层包括带固定负电荷的掺杂态氮化硅层，且该抗反射层位于所述上电极中；所述抗反射层中固定负电荷的密度为1012～1013cm-2。本发明的太阳电池以包含掺杂态氮化硅层的抗反射层作为感应层的组成部分，抗反射性能优异，制备方法简单，同时，可极大降低太阳电池的生产成本。

申请（专利权）人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所

公开号：CN104037245A