本发明液体辅助激光加工方法与装置涉及激光加工技术领域,其目的是为了提供一种具有快速扫描功能的液体辅助激光加工方法,同时提供一种液体辅助激光加工装置,相对之前的水助激光加工技术,具备加工分辨率更高、扫描速度更快,可以方便进行复杂图案加工等优点。本发明一种液体辅助激光加工方法,包括如下步骤:步骤a,激光器发射激光束,所述激光束被引导到扫描系统中;步骤b,
申请号:201710038812.9
中科院宁波材料所