12月11日,中国科学院宁波材料技术与工程研究所与宁波丞达精机股份有限公司(以下简称“丞达精机”)“半导体基体材料先进激光加工技术联合实验室”签约暨揭牌仪式在余姚经济开发区科创中心举行。
余姚市委常委、副市长毛丕显,丞达精机董事长付丞,英国皇家工程院院士、宁波材料所激光极端制造研究中心主任李琳等出席活动。丞达精机副总经理付君兴,宁波材料所研究员郭伟作为双方代表签约。
付丞表示,此次双方共建联合实验室,将有力推动企业提速发展,助力企业科技创新,双方合作将重点面向集成电路制造中的晶圆加工领域展开合作,扎实推动科研技术产业化应用。
李琳院士表示,联合实验室将以用户需求为中心,围绕最紧急、最迫切的技术难题开展科技攻关,面向晶圆加工领域联手打造领先的先进激光加工创新研发平台。
毛丕显在讲话中提到,希望联合实验室坚持以企业为中心、以企业需求为导向,攻坚克难、集智攻关,早日攻破相关技术难题,保障我国半导体基体材料核心加工工艺及装备自主可控。
余姚市委组织部(市委人才办)、发展和改革局、经济和信息化局、科学技术局、经济开发区及宁波材料所激光极端制造研究中心、技术转移与知识产权处相关人员参加活动。
签约仪式
中国科学院宁波材料所
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